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电子气体,芯片制造不可或缺的材料

时间:2023-11-22     【转载】

电子气体是集成电路、显示面板、LED、光伏等行业不可或缺的材料,其中应用在集成电路的占比最高。电子气体分为了特种气体和大宗气体。在集成电路生产过程中,应用于扩散退火、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、清洗等环节。电子气体直接决定了最终芯片的良率和可靠性。特种气体纯度一般要求5N以上,大宗气体纯度一般要求9N及以上,技术要求较高。


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根据TECHCET数据,2022年全球电子气体销售额达到68亿美元,同比增长超8%。电子特气市场规模达到50.01亿美元,同比增长10.20%,预计到2025年,全球电子特气市场规模将达到60.23亿美元,年均增速达6.39%。根据中国半导体工业协会数据,2022年我国电子特气市场规模达231亿元,同比增长6.94%。


根据 TECHCET 数据,国际巨头林德、空气化工、液化空气和日本酸素占据了2020 年全球75%以上的电子气体市场份额。


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